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西門子MAXUMII色譜儀在多晶硅生產(chǎn)中的應用

來源:網(wǎng)絡

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所屬頻道:新聞中心

關(guān)鍵詞: 西門子,色譜儀

      由于太陽能安全可靠、成本低、無污染,所以其需求正不斷上升;而且因為電能成本不斷增加,與傳統(tǒng)能源相比,太陽能的成本更具有競爭力。太陽能取之不盡,用之不竭,將主宰未來的整個能源結(jié)構(gòu)。

      利用太陽能電池將太陽能直接轉(zhuǎn)換為電能的技術(shù)稱為光伏發(fā)電技術(shù)(PV)。多塊電池串聯(lián)在一起,并封裝在玻璃板(圖3)內(nèi)形成一個模塊電池。由于全世界對太陽能的需求不斷上升,近幾年也逐步擴大了太陽能電池和光伏組件的生產(chǎn)。自從1954年第一個太陽能電池問世以來,正以平均每年40%的速度增長。全世界太陽能電池的生產(chǎn)主要集中在美國(50%)、日本(24%)和德國(18%),但是近年來其它國家已經(jīng)計劃或者正在新建很多工廠。太陽級多晶硅光伏電池的原材料是硅(Si),過去主要來源于硅的次品和廢品,是在多晶硅的提純或者在鑄錠和晶片制造過程中生產(chǎn)出來的;但是所謂的“太陽級”硅的需求有別于半導體用硅的需求。一方面,太陽級多晶硅的純度沒有必要達到半導體級那么高;但是因為產(chǎn)能巨大必須保證質(zhì)量穩(wěn)定。因此,需要進行過程分析,主要是過程氣相色譜儀,以監(jiān)控生產(chǎn)過程,確保純度要求,并優(yōu)化多晶硅生產(chǎn),提高產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)品產(chǎn)量。西門子是享譽世界的過程分析儀和解決方案提供商。在多晶硅領(lǐng)域擁有豐富的經(jīng)驗,可對工藝過程控制和優(yōu)化提供最佳的解決方案。

      西門子解決方案

      在線過程分析

      通常而言,離線的實驗室氣相色譜儀用于這個應用,需要將樣品取到實驗室,不可避免造成樣品與空氣接觸受到污染,而且由于較長的取樣間隔導致分析結(jié)果的滯后。西門子過程分析儀器具有長期可靠的氯硅烷應用的經(jīng)驗,而且設計了一套解決方案,這套解決方案以過程氣相色譜儀為基礎,使用了MAXUMII在線色譜儀和特定的樣品預處理系統(tǒng)。連續(xù)采樣連續(xù)分析,整個采樣分析過程在密閉的系統(tǒng)中完成,這樣就不需要斷開和連上取樣鋼瓶,樣品不會在大氣中暴露,即避免了污染風險,又大大增加了采樣頻率。西門子已經(jīng)安裝了超過100套這種針對在線氯硅烷分析儀系統(tǒng)。

      專業(yè)的分析方法和特殊的MAXUMII配置

      MAXUMIIPGC由于模塊化設計以及分析配置方面具有很高的靈活性而著稱。要在多晶硅工藝中實現(xiàn)不同的測量任務,就要使用MAXUMII的不同功能:

      空氣浴柱箱,帶防腐蝕吹掃

      恒溫柱箱或者程序升溫

      根據(jù)反應和性能特別選擇的分離色譜柱類型

      對載氣進行的特殊的機械式和化學式干燥

      對吹掃氣進行的干燥

      使用特殊的進樣和柱切技術(shù)(無閥切換,參見下文)

      使用不同類型的檢測器

      使用抗腐蝕性物質(zhì)和特殊的密封組件

      特殊的樣品預處理裝置

      基于豐富的安裝經(jīng)驗,樣品預處理系統(tǒng)考慮了以下因素:

      高度防泄漏設計

      所有接觸樣品的部件(例如,管道、閥、壓力調(diào)節(jié)器和流量計)的材料都是抗腐蝕性物質(zhì)

      使用特殊的密封組件和裝配技術(shù)

      專門針對維護和更換標氣瓶等附加的管道吹掃步驟的設計

      額外用干燥的吹掃氣吹掃機箱和分析小屋

      硬件表面防腐蝕

      無閥切換

      對于使用高分辨率的毛細管柱的色譜儀來說,MAXUMII同時提供了無閥柱切,從而為少量的樣品提供了高性能的柱切和長期穩(wěn)定性及可靠性。無閥柱切可以進行反吹、中心切割,或者分配到兩個不同的色譜柱中,而不需要任何切換閥,或者沒有和樣品直接接觸的運動部件。無閥切換是由壓差(壓差由精準的電子壓力控制器控制)通過一個獨特的模塊(圖4)實現(xiàn)的。由于無閥柱切具有零死體積的特征,所以非常適用于帶毛細管柱的低流速系統(tǒng)。這就降低了柱切裝置的維護頻率,提高了分離能力并簡化了復雜的分離過程。反吹技術(shù)的分析時間非常短,特別是和實驗室GC操作相比。

      痕量分析

      對痕量雜質(zhì)的分析非常重要,可以確保太陽級多晶硅(99.99%或者99.999%)的質(zhì)量,特別是硼和磷這種非常重要的雜質(zhì)。通常ppb級別的痕量組分,例如甲基二氯硅烷(MeHSiCl2)不能使用傳統(tǒng)的檢測器如TCD和FID來分析。

      西門子的解決方案是用脈沖放電氦離子檢測器(PDHID,VICI提供,用在MAXUMII)來檢測,這個檢測器可以檢測有機和無機組分。在相應的分離條件下,PDHID的靈敏度比FID或者TCD好至少1個數(shù)量級。

      交鑰匙的測量解決方案

      這個解決方案是在多年硅烷分析經(jīng)驗的基礎上提出的。從樣品提取、樣品預處理到分析儀和安裝結(jié)構(gòu),所有部分都是一個緊密聯(lián)系的測量系統(tǒng)。

      連續(xù)測量

      不同于實驗室的間斷采樣分析,沒有人為因素影響,可長時間保持分析數(shù)據(jù)的重復性和穩(wěn)定性。

      準確、快速、可靠的測量

      經(jīng)過全世界無數(shù)安裝實例驗證的特殊的樣品預處理系統(tǒng)

      所有接觸樣品的部件的材料都是非腐蝕性物質(zhì)

      無閥柱切和高靈敏度的檢測器,所以分析性能很高(圖6)

      直接的過程控制能力

      通過閉環(huán)控制實現(xiàn)過程優(yōu)化

      通過流路切換和自動標定,實現(xiàn)樣品預處理裝置的自動控制

      現(xiàn)場安裝

      MAXUMII經(jīng)過認證,可以用于危險區(qū)(ATEX,CSA,NEC,NEPSI)

      MAXUMII適用于室溫-18oC~+50oC。不需要帶門的分析小屋,機柜就足夠。

      MAXUMII安裝在靠近取樣點的位置:縮

      先進的控制和通訊能力

      直接與DCS連接

      整合到通訊網(wǎng)絡中(Modbus,以太網(wǎng)TCP/IP)

      遠程訪問和維護

      通過集線器和網(wǎng)關(guān)易于與其它分析儀組網(wǎng)

      與SIMATICScalance組件兼容

      客戶利益

      通過使用過程分析儀,可以降低成本,增加產(chǎn)出

      使用在線測量的數(shù)據(jù)可以進行過程控制和優(yōu)化

      有效提高開工水平,確保產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定

      實時監(jiān)控工藝過程,確保安全生產(chǎn)

      短了管道長度,所以降低了安裝成本;快速回路短,所以分析很快。

    (審核編輯: 智匯張瑜)

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