新型激光制導(dǎo)硅鏡是由德國Fraunhofer硅技術(shù)研究所和材料技術(shù)的工程師共同開發(fā)的，用來應(yīng)對高功率激光焊接與切割。微機電系統(tǒng)(MEMS)轉(zhuǎn)向鏡，是蝕刻的硅片，能夠應(yīng)對千瓦級的能量，而不是傳統(tǒng)的毫瓦級的系統(tǒng)。

　　大功率操作可能性是由于一個新的保護涂層在合作開發(fā)的項目，以及一種新型的真空鏡片工具。

　　小巧的MEMS鏡的主要優(yōu)勢是，可以以極高的速度來回旋轉(zhuǎn)，達到0.1MHz的頻率。與傳統(tǒng)激光系統(tǒng)相比（工作頻率為1KHz），工件上的激光能量分布更有效。

　　加工一個特定材料，如果MEMS鏡轉(zhuǎn)動緩慢，焊接時光束能量不能有效的分布。“相比之下，快速振蕩的激光束使分配熱量和調(diào)整各自處理的任務(wù)更加有效，”Andreas Wetzig說，F(xiàn)raunhofer實驗室激光燒蝕和切割專家。

　　實驗表明，MEMS鏡擁有各種各樣的可能性，例如在切割、焊接、表面硬化。“我們可以將鋁和銅焊接在一起，例如，金屬的熱量輸入精確控制使加熱融化的更多。”Wetzig說。MEMS鏡也更容易焊接鋁合金。目前，鋁合金焊縫通常多氣孔，因為合金中某些物質(zhì)在焊接過程排除氣體，形成氣泡。而微鏡系統(tǒng)可以控制熱量輸入，這樣融化保持液體，直到物質(zhì)完全排出。

　　雖然當(dāng)前固體激光器可以切割金屬，但是切割邊緣的品質(zhì)達不到CO2激光器切割水平。使用MEMS鏡針對性控制能量輸入，減少邊緣粗糙度，避免切割邊緣毛刺形成。

　　全新的MEMS鏡在高功率激光下工作，不僅是因為特殊的反光涂料，而且是不尋常的尺寸。一般來說，微機電鏡直徑只有1到2毫米；全新微機電鏡直徑為20毫米，甚至能夠處理較大的激光光束，顯著提高輸出。

　　開發(fā)人員的挑戰(zhàn)在于實現(xiàn)更高的頻率。“為了解決這個問題，我們在真空環(huán)境下操作鏡片以減少振蕩鏡片的衰減，“MEMS鏡專家Ulrich Hofmann說。